一、扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

二、扫描电镜的优点：①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。

目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

三、SEM的工作原理： 
扫描电镜（SEM）是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞，一些电子被反射出样品表面，而其余的电子则渗入样品中，逐渐失去其动能，最后停止运动，并被样品吸收。在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。

扫描电镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、探测、 信号处理、显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。

扫描电镜除能检测二次电子图像以外，还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。 
      在进行扫描电镜观察前，要对样品作相应的处理。扫描电镜样品制备的主要要求是：尽可能使样品的表面结构保存好，没有变形和污染，样品干燥并且有良好导电性能。 

四、使用方法 
（1）开机 
 1、接通循环水（流速1.5～2.0L/min）

 2、打开主电源开关。 
 3、在主机上插入钥匙，旋至“Start”位置。 
松手后钥匙自动回到“on”的位置，真空系统开始工作。 

 4、等待10秒钟，打开计算机运行。

 5、点击桌面的开始程序。 
 6、点击［JEOL·SEM］及［JSM-5000主菜单］。 
 7、约20分钟仪器自动抽高真空，真空度达到后，电子枪自动加高压，进入工作状态。

 8、通过计算机可以进行样品台的移动，改变放大倍数、聚焦、象散的调整， 直到获得满意的图像 
 9、对于满意的图像可以进行拍照、存盘和打印。 
10、若需进行能谱分析，要提前1小时加入液氮，并使探测器进入工作状 态。 
11、打开能谱部分的计算机进行谱收集和相应的分析。 
12、需观察背散射电子像时，工作距离调整为15mm，然后插入背散射电子 探测器，用完后随时拔出。 
（2）更换样品 
1、点击“HT on”,出现“HT Ready”。 

2、点击“Sample”,再点击“Vent”。 
3、50秒后拉出样品台,从样品台架上取出样品台.

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