一、装好试样后，开始操作JEM-2100F的步骤：

1、打开beam阀，在LOW MAG下，找到薄区所在的位置；

2、在LOW MAG下将放大倍数调至500倍，然后切换至MAG1；

3、找到一个薄区，将放大倍数调至2000倍，按下STD FOCUS，再进行调Z的步骤：

    1）方法一：将试样边沿移至屏幕中心，按下IMAGE WOBB X，试样呈抖动状态，再通过调节

    2）、方法二：找到试样薄区，逆时针旋转BRIGHTNESS，使电子束汇聚为一点，再通过调节

，使各衍射斑点汇聚于同一点；

4、将放大倍数调至100K倍（调节放大倍数时，需要同时旋转BRIGHTNESS和MAG/CAM L），并将无试样区域移至屏幕中心，逆时针旋转BRIGHTNESS至电子束呈合适大小内、外圆形；

5、按下BRIGHT TILT按钮, 并通过调节SHIFT X和SHIFT Y将电子束移至屏幕中心，再通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y将电子束的内圆恰好移至外圆的中心（若电压对中过程中，平移与偏转相互影响，则联动比有问题，需要调最新的合轴文件）；

6、再按下COND STIG按钮，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y将电子束的内圆内的图形调成“奔驰”车标形状；

7、逆时针旋转BRIGHTNESS，使电子束的内圆和外圆重合，再在HIGH VOLTAGE CONTROL 界面中点击“ON”，按下F4，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y使内外圆同心缩放；

8、检查电压对中和聚光镜消象散；

9、顺时针旋转BRIGHTNESS，使电子束充满整个屏幕，套取一号聚光镜光阑，将电子束调至屏幕中心（机械对中）；

10、再次合轴，将放大倍数调节至400K倍，再次检查电压对中和聚光镜消象散；

11、将放大倍数调至100K倍，并将薄区边沿移至屏幕中心，通过调节OBJ FOCUS旋钮，将试样边沿调至为微欠焦（略显白色边沿），再将放大倍数调至400K倍，并将边沿区移至屏幕中心，按下F1，然后打开CCD，并调出傅里叶变换，按下OBJ STIG，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y和OBJ FOCUS旋钮（使傅里叶变换为一圆环），得到清晰的高分辨像；

12，关闭CCD，再按下F1，将放大倍数调至100K倍，找到感兴趣薄区，并将电子束汇聚于一点，按下SA DIFF按钮，并将相机常数调至60CM，手动将菊池线的交点移至电子束中心；

至此，已完成电镜合轴、消象散、踩带轴的步骤，接下来便可进行选区电子衍射、明场像、暗场像和高分辨像的操作。

二、选区电子衍射步骤：

1、合轴完成后，在TEM、MAG1模式下，将感兴趣区移至屏幕中心；

2、通过感兴趣大、小来套取合适的选取光阑；

3、按下SA DIFF按钮转为衍射模式，获得相应的电子衍射花样，并通过调节MAG/CAM L获得合适的相机常数（20-30CM）---不同相机常数的意义；

4、通过顺时针旋转BRIGHTNESS和调节DIF FOCUS获得足够暗、圆锐的衍射斑点。

在进行拍摄明、暗场之前，两个必须的步骤：

1）、保证物镜光阑和衍射斑点均在物镜的后焦面上，具体调节：通过调节DIF FOCUS旋钮，使物镜光阑投影为圆形；通过旋转BRIGHTNESS调节衍射斑点的亮度;

2)、明、暗场电子束对中，在MAG1模式下，转换BRIGHT TILT 和DARK TILT 来检查对中性。

三、明场像

1、获得感兴趣区的电子衍射花样后，按下BRIGHT TILT，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y旋钮，将透射斑点移至屏幕中心；

2、选择合适的物镜光阑（由什么决定？最小尺度为多少？），套取透射斑点；

3、退回选区光阑，按下MAG1，并通过调节MAG/CAM L，获得合适放大倍数的明场像。

四、暗场像

1、获得感兴趣区的电子衍射花样后，按下DARK TILT，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y旋钮，将将感兴趣的衍射斑点移至屏幕中心；

2、选择合适大小的物镜光阑（由什么决定？最小尺度为多少？），只套取感兴趣的衍射斑点；

3、退回选区光阑，按下MAG1，并通过调节MAG/CAM L，获得合适放大倍数的明场像。

五、高分辨像

1、获得感兴趣区的电子衍射花样后，按下PLA，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y旋钮，将透射斑点移至屏幕中心；

2、选择合适大小的物镜光阑（由什么决定？最小尺度为多少？），同时套取透射和衍射斑点（最少要套住一个衍射斑点）；

3、退回选区光阑，按下MAG1，并通过调节MAG/CAM L，获得合适放大倍数图像（400K倍以上），按下OBJ STIG，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y和OBJ FOCUS旋钮，获得清晰的高分辨晶格像。

六、拍摄图片步骤：

选定好需要拍摄的区域，单击“stop view”，更改相关参数，选择待保存图像，单击“123”图标进行保存。

需要注意：低倍图片，先选择好，再打开CCD摄像。

（测试请联系  QQ： 1530465590            微信：17077790010                网站：www.ylijs.com）