电镜分辨率: 2.0nm @ 30kV；5.0nm @ 3kV 加速电压: 200V～30kV 束流大小: 1pA-2μA 景深：最高可达7mm 电镜检测器: 高真空二次电子检测器(SE)、马达驱动可伸缩式背散射电子探测器(BSE)（用于高真空和低真空）、低真空二次电子探测器（LVSTD, up to 500 Pa）样品室红外CCD探测器。 能谱： Oxford AZtec MaxN-80
样品高度小于80mm，直径小于130mm。 多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理。 样品应具有导电性。若样品不导电，需要进行镀金、碳等导电膜的处理（本中心也提供镀膜服务，但需要另行收费）。
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