真空系统为旋转机械泵和涡轮分子泵，极限真空度≤5×10-5 mbar，工作真空度5×10-3 - 5×10-1 mbar；镀膜方式包括蒸碳镀膜和离子溅射；具有膜厚监测功能；溅射电流0-150 mA；溅射时间1-3600 s；镀膜厚度1-1000 nm；内置挡板，可自动开启和关闭；样品台可调节工作距离、可旋转、可倾斜；具有彩色触摸屏控制，可编辑和存储镀膜方案。
送检样品必须为干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状，应有一定的化学、物理稳定性，无磁性、放射性和腐蚀性。含水分较多的生物软组织的样品制备，要求用户自己进行临界点干燥之前的固定、清洗、脱水及用醋酸（异）戊酯置换等处理。一般情况下，块状样品尽量小些（≤10x10x5mm），粉末样品需1克左右，纳米样品通常需超声波分散。
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