SEM分辨率： 0.7nm @ 15kV(COF)、1.0nm @ 15kV 1.0nm @ 1kV(COF)、1.4nm @ 1kV FIB分辨率：2.5nm @ 30kV FIB束流：1pA～50nA 探测器： 样品室和镜筒内二次电子探测器 样品室和镜筒内背散射电子探测器 质谱质量分辨率：>800 质谱探测极限：3ppm 质谱空间分辨率：40nm(水平方向) 3nm(深度方向) 附件：能谱仪(EDS)、EBSD
送检样品必须为干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状均可。应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。含水分较多的生物软组织的样品制备，要求用户自己进行临界点干燥之前的固定、清洗、脱水及用醋酸（异）戊酯置换等处理，最后由本室进行临界点干燥处理。观察图像样品应预先喷金膜。一般情况下，样品尽量小块些（≤10x10x5mm较方便）。粉末样品每个需1克左右。纳米样品一般需超声波分散，并镀铂金膜。
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